Платформа НАНОФАБ 100: Модуль СЗМ ГИC
Нанолокальность не только при исследовании, а и при создании структуры зондовыми методами – задача модуля СЗМ с системой газовых инжекторов (СЗМ ГИC).
Система инжекторов на 5 резервуаров с микропозиционером выходных сопел и контролем температуры позволяет создавать заданные химические условия в области воздействия зонда СЗМ на образец. Здесь наилучшим образом сочетаются локальность зондового микроскопа и деликатность системы газовых инжекторов, позволяющих локально создавать заданные химические условия без нарушения чистоты процесса (то есть условий высокого вакуума).
