Платформа НАНОФАБ 100: Модуль ИЛО
Модуль импульсного лазерного осаждения (ИЛО) на основе эксимерного KrF лазера реализует следующие технологические операции:
- осаждение диэлектрических окисных слоев с термостатированием в атмосфере кислорода, как во время процесса осаждения, так и после его окончания;
- осаждение пьезо- и сегнетоэлектрических слоев с использованием мишеней из цирконата-титаната свинца (ЦТС), ниобата лития и т.п.;
- осаждение металлических слоев нанометрового диапазона;
- получение нанотрубок и нанопроволок германия, кремния, золота и полупроводниковых соединений;
- получение слоев высокотемпературных сверхпроводников состава YBaCuO с применением мишени тождественного стехиометрического состава и сохранением указанного состава во время процесса лазерной абляции.
