Платформа НАНОФАБ 100: Модуль ПХГФО

Основная информация Технические характеристики Габаритные размеры Примеры применений 3D модель

Модуль ПХГФО предназначен для плазмохимического осаждения из газовой фазы. Процесс осаждения производится в низкотемпературной плазме, получаемой при низком давлении за счет активации химических реакций электрическим разрядом.
Модуль ПХГФО может быть использован для получения массивов углеродных нанотрубок (УНТ) на одиночных пластинах диаметром до 100 мм.
Установка может применяться как автономно, так и в составе нанотехнологического комплекса.