Платформа НАНОФАБ 100: Модуль СВВ СЗМ
Модуль СВВ СЗМ платформы НАНОФАБ 100 предназначен для исследования поверхностей пластин, имеющих диаметр до 100 мм, и позволяет реализовывать более 40 методик измерения поверхностных характеристик подложек при вакууме 10-10 мбар. Разработанная специально для этого модуля система смены зондовых головок позволяет оперативно заменять рабочий зонд СЗМ без нарушения условий сверхвысокого вакуума. Координатно-связанная прецизионная система позиционирования подложек позволяет находить и исследовать нанообъекты, созданные в других модулях нанотехнологического комплекса.
