| Технические характеристики |
| Измерительная система |
| Измерительные головки |
АСМ и СТМ (стационарные, с автоматической установкой); жидкостная и наносклерометрическая (сменные, с ручной установкой) |
| Доступные СЗМ методы |
АСМ, СТМ, наносклерометрия на воздухе АСМ, в жидкости |
Система регистрации отклонений
кантилевера |
автоматизированная юстировка |
| Образец |
| Размер |
до 20 мм в диаметре, до 10 мм в высоту |
| Вес образца |
до 40 г |
| Температурный контроль образца |
от комнатной до 150° С |
| Система сканирования |
| Тип сканирования |
образцом |
| Область сканирования |
100x100x10 мкм (с датчиками обратной связи)
3x3x2 мкм в режиме высокого разрешения |
| Нелинейность, XY |
0.1 % (с датчиками обратной связи) |
| Разрешение |
| Шум XY |
не более 0.3 нм (с датчиками обратной связи) |
| Уровень шума Z (RMS в полосе 10 — 1000 Гц) |
0.03 нм (типично) с датчиками обратной связи
0.02 нм в режиме высокого разрешения |
| Система позиционирования образца |
| Способ позиционирования |
автоматизированный, привязанный к системе видеонаблюдения |
| Диапазон, XY |
5x5 мм |
| Минимальный шаг |
0.3 мкм |
| Система видеонаблюдения |
| разрешение |
2 мкм |
| фокусировка |
моторизованная |
| zoom |
непрерывное увеличение рабочей области моторизованная |
| Размеры и вес |
| Размеры |
470x210x260 мм |
| Вес |
25 кг |
