|
Технические характеристики
|
| Вакуум |
5*10-8 Торр |
| Насосы |
безмасляный форвакуумный насос и турбомолекулярный насос с ротором на магнитном подвесе |
| Скорость форвакуумной откачки |
13 м3/час |
| Скорость высоковакуумной откачки |
365 л/с |
| Диапазон температур |
Охлаждение: азотное до 110К, гелиевое до 50К Нагрев до 150°С |
| Контроль среды |
Возможность плазменной обработки поверхности образца, использования неагрессивых газов (такие как O2, H2, т.д.) |
| Размер образца |
порядка 10×10 мм |
| Диапазон сканирования |
100×100×10 мкм |
| Магнитное поле |
с плоскими наконечниками до 1.2 кГс, с фигурными наконечниками до 2 кГс |
