Платформа НАНОФАБ 100: Транспортный модуль

Сверхвысоковакуумный радиальный транспортный модуль - соединительное звено между камерами нанотехнологического комплекса НАНОФАБ 100. Основные функциональные узлы модуля: вакуумная камера, манипулятор с держателем образца, приводы перемещения манипулятора, система для получения сверхвысокого вакуума. Для задания манипулятору вращательного движения вокруг вертикальной оси камеры и линейного перемещения используются шаговые двигатели c редукторами. Это позволяет получать высокую точность репозиционирования манипулятора, как по линейной координате, так и по угловой. Поскольку модуль предназначен для образования кластера, то манипулятор совмещен со всеми транспортными узлами.

Система регулировки движения манипулятора позволяет произвести первоначальную юстировку транспортной системы всего кластера с сохранением координат конечного положения в памяти компьютера. Это необходимо для дальнейшей работы в автоматическом режиме. Вакуумная камера оснащена шестью стыковочными портами, расположенными вокруг вертикальной оси камеры. На камере имеются смотровые окна для контроля перемещений.


	Вакуумная система состоит из ионного насоса, вакуумметров и блоков питания и управления. Для управления движением манипулятора и вакуумными затворами служит сенсорный экран. Все контроллеры, блоки питания и компьютер размещены в одной стойке. Подобная конфигурация позволяет создавать многокластерные нанотехнологические комплексы.

	Сенсорный экран позволяет: управлять вращением и линейным перемещением манипулятора робота-раздатчика; управлять шиберами модуля RDC; контролировать давление в камере RDC; управлять прогревом модуля RDC.