Платформа НАНОФАБ 100: Модуль переворота
СВВ модуль переворота и передачи пластин (модуль переворота) платформы НАНОФАБ 100 предназначен для передачи образца между различными кластерами комплекса. Модуль позволяет осуществлять переворот пластин, необходимый в тех случаях, когда в соединяемых кластерах ориентация образца различна.