Платформа НАНОФАБ 100: Модуль загрузки
Модуль загрузки и хранения образцов (модуль загрузки).
Модуль предназначен для загрузки и хранения образцов. Также может использоваться для межоперационного складирования. Модуль состоит из вакуумной камеры, вакуумных насосов, датчиков давления, окна быстрого доступа и подъемного механизма. Подъемный механизм представляет собой восемь полок, расположенных в ряд по вертикали. Каждая полка снабжена посадочным местом для держателя образца диаметром 100 мм. Данный механизм приводится в движение шаговым двигателем через сильфонный ввод движения. Для получения вакуума используются форвакуумный, турбомолекулярный и ионный насосы.
