Платформа НАНОФАБ 100: Модуль СВВ ФИП
Основное назначение сверхвысоковакуммного модуля фокусированных ионных пучков (модуля СВВ ФИП) платформы НАНОФАБ 100 – анализ и наноструктурирование с латеральным разрешением до 10 нм посредством резки (локальным распылением) ионным лучом поверхностей п/п подложек диаметром до 100 мм.
Модуль позволяет также выявлять приповерхностную структуру подложки на глубину порядка 10 мкм.
Модуль целиком установлен на системе активной виброзащиты, подавляющей механические вибрации в широком диапазоне частот.
Аналитические возможности модуля могут быть существенно расширены за счет использования колонн СЭМ и ВИМС.
