Платформа НАНОФАБ 100: Модуль ПХТ
Модуль плазменного травления нанотехнологического комплекса Нанофаб 100 – установка, предназначенная для «сухого травления» широкого диапазона материалов – металлов, диэлектриков, кремния, арсенида и нитрида галлия.
Модуль используется для обработки пластин диаметром 100 мм.
Принципиально новый подход к конструкции установки позволяет легко интегрировать устройство в нанотехнологический комплекс посредством специализированного горизонтального манипулятора и производить следующие операции:
- Утонять образец на большой площади с однородностью не хуже 5 %
- Эффективно и деликатно очищать материалы и снимать естественный окисел перед последующими технологическими операциями
- Формировать топологический рисунок через маскирующие слои
- Осаждать аморфные пленки материалов
