Платформа НАНОФАБ 25: Модуль ЭИС

Основная информация Технические характеристики Габаритные размеры 3D модель

Модуль электронно-ионной спектроскопии предназначен для анализа образцов размерами до 10×10×8 мм в условиях сверхвысокого вакуума (до 1.2×10^-10 мбар). Основная задача модуля – исследование образца методами рентгеновской и ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, Оже-спектроскопии, спектроскопии рассеяния ионов. Модуль ЭИС может применяться в широкой области научной деятельности - в микро-, опто- и наноэлектронике, для анализа наноструктурных материалов и запоминающих сред, в химической технологии, для физико-химических исследований, в технологии материалов и т.п. Основу прибора составляет спектрометр характеристических потерь электронов, обеспечивающий регистрацию отраженных электронов с энергиями до 15 кэВ c выбранного участка образца.