Платформа НАНОФАБ 25: Модуль ПХГФО
Модуль плазмохимического осаждения из газовой фазы (модуль ПХГФО) платформы НАНОФАБ 25 предназначен для плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы и плазмохимического травления. Также возможно производить селективное травление материалов через заблаговременно сформированную маску с целью создания заданного топологического рисунка. В качестве образцов, подвергающихся плазменной обработке, могут быть использованы подложки широкого спектра материалов, используемых в микро- и наноэлектронике.
