Платформа НАНОФАБ 25: Радиальный транспортный модуль
Радиальный транспортный модуль - связующее звено между модулями, входящими в состав нанотехнологического комплекса НАНОФАБ 25. Такая конструкция комплекса позволяет перегружать образец без развакуумирования, что обеспечивает сохранение необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности. Основа транспортного модуля - манипулятор, предназначенный для передачи образцов. На вакуумной камере модуля имеются смотровые окна для контроля перемещений. Камера оснащена шестью стыковочными портами, расположенными вокруг вертикальной оси. К каждому из этих портов может быть присоединен отдельный модуль, в том числе и еще один транспортный.
