Платформа НАНОФАБ 25
Модульная аналитико-технологическая платформа НАНОФАБ 25 предназначена для формирования нанотехнологических комплексов, позволяющих не только получать наноструктуры на подложках диаметром до 25 мм, но и проводить их физико-химический анализ.
Относительно небольшие габариты и радиальная компоновка позволяют размещать нанотехнологические комплексы на платформе НАНОФАБ 25 практически в любой лаборатории.
Наличие сверхвысоковакуумного радиального транспортного модуля обеспечивает проведение многосторонних исследований наноструктур с атомарным разрешением, включая лучевые (электронная и ионная спектроскопия) и зондовые (АСМ и СТМ) методы.