Продукция

В настоящее время продуктовая линейка включает 5 модельных рядов (платформ),  специализированное технологическое оборудование, а также широкий ассортимент аксессуаров и расходных материалов.

	Платформа НАНОФАБ 100
	Сверхвысоковакуумный научно-технологический комплекс, предназначенный для разработки и создания элементов наноэлектроники, а также для проведения фундаментальных исследований в этой области. Комплекс ориентирован на то, чтобы в полностью автоматическом режиме подвергать один и тот же образец разного рода воздействиям (теми методами, которые сейчас используются для создания микроэлектроники, только с предельным разрешением на один-два порядка больше). Подходит для организации мелкосерийного производства. В настоящее время завершена разработка второго поколения данной платформы, не имеющая аналогов в мире по производительности и доступному набору методов воздействия.
	Платформа НАНОФАБ 25
	Модульная аналитико-технологическая платформа НАНОФАБ 25 предназначена для формирования нанотехнологических комплексов, позволяющих не только получать наноструктуры на подложках диаметром до 25 мм, но и проводить их физико-химический анализ. Относительно небольшие габариты и радиальная компоновка позволяют размещать нанотехнологические комплексы на платформе НАНОФАБ 25 практически в любой лаборатории.
	Технологическое оборудование
	Технологическое оборудование ориентировано на решение любых стандартных и узконаправленных задач. Для осуществления наиболее распространенных и важных операций мы предлагаем следующую продукцию: Установку плазмохимического травления ЭТНА-100-ПТ, с помощью которой производится очистка образцов, травление и удаление резистивных масок, и установку магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ, предназначенную для нанесения проводящих, диэлектрических, полупроводниковых многослойных многокомпонентных покрытий, нитридов и оксидов на подложки диаметром до 100 мм.
	Платформа ИНТЕГРА
	Концепция зондовой НаноЛаборатории – развитие возможностей СЗМ и объединение их с другими современными методами исследования. Модельный ряд включает приборы для проведения зондово-микроскопических исследований в обычных и в специальных условиях (в вакууме, при высокой и низкой температуре, в жидкостях и т.д.). А объединение АСМ с другими методами дало возможность, например, преодолеть принципиальные ограничения оптики, с возможностью проводить спектральные исследования (включая определение химического состава) с разрешением, превосходящим лучшие оптические методы.
	Платформа СОЛВЕР
	Платформа сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) предназначена для исследования свойств поверхности в масштабе нанометров. Позволяет визуализировать и количественно измерять механические (твердость, упругость, вязкость и т.д.), электрические (проводимость, емкость, распределение поверхностного заряда и т.д.) и магнитные свойства объектов с размерами от нескольких микрон до ангстрем. В арсенале Солвер более 40 измерительных методик, которые можно использовать для исследований как на воздухе, так и в контролируемой атмосфере, а также жидкости.
	Платформа НАНОЭДЬЮКАТОР
	Мы верим, что будущее начинается сегодня, поэтому создаем специальное оборудование для преподавания основ нанотехнологий. НАНОЭДЬЮКАТОР - это больше чем простой в эксплуатации Сканирующий Зондовый Микроскоп, это учебно-научный комплекс, который включает в себя специально разработанные для студентов учебные пособия, методические рекомендации по проведению практикумов и наборы тестовых учебных образцов и расходных материалов.