Платформа НАНОФАБ 100: ПримененияОбласти применения НТК НАНОФАБ 100 покрывают практически все поле нанотехнологических исследований и разработок, связанных с твердотельными наноматериалами, наноструктарами и наноустройствами. Спектр возможностей НАНОФАБ 100 простирается от проведения фундаментальных исследований до отработки отдельных технологических приемов и моделирования наноэлектронных устройств. Применяемые компоновочные схемы, система управления и развитая транспортная система НТК НАНОФАБ 100 позволяют применять их также и для мелкосерийного производства наноструктур и наноустройств. Координатно-связанная система позиционирования подложек позволяет создавать сложные многокомпонентные 3D наноустройства путем проведения в различных модулях последовательных нанотехнологических операций с нанометровым разрешением. |
|
|
|
|||||||||||
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |