Контактная ЭСМ

Как и в Бесконтактной ЭСМ в Контактной ЭСМ на кантилевер подается смещение V_tip=V_dc + V_ac sin(wt), где  V_ac напряжение возбуждения колебаний. Сканирование проводится в соответствии с обычным Методом Постоянной Силы с одновременным измерением электрических сил. Т.н. емкостная сила F_cap(z) между зондом и поверхностью, находящейся при потенциале V_s , равна

F_cap(z) =(1/2) (V_tip - V_s)²(dC/dz)

где C(z) является емкостью зонд-поверхность, зависящей от геометрии зонда, рельефа поверхности и расстояния зонд-поверхность. 
В Контактной ЭСМ регистрируется влияние первой гармоники F_cap(z) на колебания кантилевера.  
Контактная ЭСМ может быть использована для исследований полупроводниковых структур. Ток текущий через контактную область увеличивает эти силы, но незначительно, т.к. обычно слой оксидов на острее и на поверхности образца тонкий (несколько нанометров).
В качестве примере представлены данные измерений GaAlAs гетероструктур. 

    Ссылки

Rev. Sci. Instr. 70, 1735 (1999).

    Download Flash model