Сканирующая Емкостная Микроскопия
Сканирующая Емкостная Микроскопия является разновидностью
Электро-силовой Микроскопии. В общем случае
[1] в ЭСМ на кантилевер подается смещение V
tip=V
dc + V
ac sin(wt), где V
ac ответственно за возбуждение колебаний. Сканирование проводится на некоторой высоте h над поверхностью образца в соответствии с рельефом, определенным на первом проходе с использованием Прерывисто-контактного Метода. Емкостная сила F
cap(z) взаимодействия между зондом и поверхностью образца, находящейся при потенциале V
s , равна
F
cap(z) =(1/2) (V
tip - V
s)
2(dC/dz)
где C(z) – емкость зонд-образец, зависящая от геометрии зонда, рельефа поверхности и величины зазора зонд-образец z.
Вторая гармоника емкостной силы зависит только от (dC/dz) и Vac
Fcap2w(z) =(1/2)(dC/dz) Vac2sin(2wt)
и может быть использована для получения дополнительной информации, например, распределения поверхностной емкости по образцу. Для увеличения амплитуды колебаний на второй гармонике частота w выбирается равной половине резонансной частоты кантилевера w
r.
Ссылки
- Nanotechnology 12, 485 (2001).
- Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988).
- J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).
